Auf ihr können spezielle mikroelektromechanische Systeme hergestellt werden – mit der richtigen Ätztechnik.
Im MST-Lab&Fab Reinraum werden MST – winzige, in Halbleiter-Chips eingebunden Sensoren – hergestellt.
www.fraunhofer.deOn it, special micro-electromechanical systems can be produced – with the correct etching technique.
MSTs, tiny sensors integrated into semiconductor chips, are produced in the MST laboratory and clean room.
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