Abb. 1 links :
Schema der Glimmentladungsquelle mit integrierten Sensoren zur Messung des HF Stromes und der HF Spannung
Abb. 1 rechts:
www.ifw-dresden.de1 left :
schema of the glow discharge source with integrated current and voltage
Fig.
www.ifw-dresden.deAbb. 2 :
Messung des HF-Stromes und der HF-Spannung sowie deren Auswertung am Beispiel einer Cu-Probe, 770 Pa, f = 3.3 MHz, U0P = 675 V, Ppl = 9,8 W
Abb. 3:
www.ifw-dresden.deFigure 2 :
Voltage and current signal sputtering a copper sample ( 770 Pa, f = 3.3 MHz, Ppl = 9,8 W).
Figure 3:
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