Wir charakterisieren die Optiken bei der EUVL-Arbeitswellenlänge und nicht etwa nur mit sichtbarem Licht.
Daher beschreiben unsere Messungen direkt das Verhalten der Optiken in den Produktionsmaschinen " , erläutert PTB-Arbeitsgruppenleiter Frank Scholze .
www.ptb.deWe characterize the lens systems at the EUVL working wavelength - and not only with visible light.
Our measurements therefore directly describe the behaviour of lens systems in the production machines " , explains Frank Scholze , head of the PTB working group .
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Daher beschreiben unsere Messungen direkt das Verhalten der Optiken in den Produktionsmaschinen " , erläutert PTB-Arbeitsgruppenleiter Frank Scholze .
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Our measurements therefore directly describe the behaviour of lens systems in the production machines " , explains Frank Scholze , head of the PTB working group .
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Daher beschreiben unsere Messungen direkt das Verhalten der Optiken in den Produktionsmaschinen " , erläutert PTB-Arbeitsgruppenleiter Frank Scholze .
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Our measurements therefore directly describe the behaviour of lens systems in the production machines " , explains Frank Scholze , head of the PTB working group .
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Daher beschreiben unsere Messungen direkt das Verhalten der Optiken in den Produktionsmaschinen " , erläutert PTB-Arbeitsgruppenleiter Frank Scholze .
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